Zerstörende Bestimmung der Struktur und Schichtdicke von metallischen und nichtmetallischen Überzügen.
Hierbei wird die in einem mindestens 10 µm dicken Einbettungsüberzug befindliche Probe meist genau senkrecht zum Überzug angeschliffen, in der Regel angeätzt und unter einem Auflichtmikroskop ausgemessen. DIN 50950.
