PE; Trockenätzverfahren unter Anwendung eines Plasmas bei Drücken von 15 Pa bis 1500 Pa. Die Rohteile liegen elektrisch auf Erdpotenzial. Plasmaätzen ist ein nichtchemisches Vorbehandlungsverfahren zur Aktivierung der Oberfläche.
Die zu behandelnde Oberfläche wird unter Hochvakuumbedingungen einem Plasma ausgesetzt: Verwendet werden Gleichspannungsglimmentladungen, Radiofrequenzglimm- entladungen und Bogenentladungen. Bei Glimmentladungen wird die Oberfläche als Kathode geschaltet, bei Bogenentladungen als Triode.
Bei Kunststoffen werden je nach verwendetem Gas durch die Entladung Radikale erzeugt, die mit der Kunststoffoberfläche reagieren und funktionelle Gruppen bilden, die die Verankerungspunkte für die Metallschicht bilden. Anwendungen: Halbleitertechnologie, Substratvorbereitung für das → Ionenplattieren.