Als Diffusionsverfahren werden solche Verfahren bezeichnet, bei denen das Aufbringen einer → Diffusionsschicht auf ein Trägermetall durch thermisches Zersetzen von Salzen des Überzugsmetalls oder durch Glühen im pulverförmigen Überzugsmetall in Gegenwart von reaktionsfähigen Ionen, z. B. Chloriden erfolgt. Das Überzugsmetall diffundiert bei den während der Behandlung herrschenden Temperaturen in das Grundmetall, wobei die Außenzone des Werkstücks in Form einer Diffusionsschicht mit dem Überzugsmetall angereichert wird. Die wichtigsten Verfahren sind das → Sherardisieren (Anreichern von Zink in einer Stahloberfläche durch Glühen in zinkhaltigem Pulver), das → Inchromieren (Anreichern von Chrom in einer Stahloberfläche durch Glühen in (z. B. Chrom(II)chlorid oder anderen) Chrom abgebenden Substanzen) und das → Alitieren (Anreichern von Aluminium in einer Stahloberfläche durch Glühen in aluminiumhaltigem Pulver mit Chloridzusatz).