Anomale Gasentladung

Entladung in einem bestimmten Abschnitt der Strom-Spannungs-Kurve der Gleichspannungsglimmentladung. Dabei sind die Elektroden bzw. das zu beschichtende Werkstück vollständig vom Glimmsaum umgeben. Anwendung bei → PACVD– und → PECVD-Prozessen.