Magnetron

Kathodenzerstäubungsquelle, bei der zusätzliche Magnetfelder orthogonal zu den elektrischen Feldern erzeugt werden. Dadurch wird das Plasma auf einen die Kathode teilweise oder ganz bedeckenden Schlauch beschränkt. Dies bewirkt eine reduzierte Spannung zur Aufrechterhaltung der Glimmentladung (von 2 000 bis 4 000 Volt auf 400 bis 900 Volt), einen reduzierten Arbeitsdruck (von 5 bis 50 Pascal auf 0,1 bis 2 Pascal), eine gesteigerte Ausbeute (üblicherweise 1000fache Rate). Sehr weit verbreitete Dampfquelle für PVD. Alternative zu den Verdampfungsquellen.