Verfahren zur zerstörenden Bestimmung der Schichtdicke von metallischen und nichtmetallischen Überzügen. Es ist ähnlich dem Schliffverfahren, nur mit dem Unterschied, dass die Probe nicht senkrecht, sondern schräg angeschliffen wird. Hierdurch erzielt man zwar eine Verbreiterung der Messfläche, ihre Länge ist jedoch stark von dem Anschliffwinkel abhängig. Zur Berechnung der Schichtdicke S lautet die Beziehung S = L ∙ sin α, wobei L die Länge des Anschliffs bedeutet. Mittels des Schrägschliffs erreicht man jedoch keine Verbesserung des Messwertes, weil die genaue Bestimmung des Winkels mitunter problematisch ist und außerdem zur Messung eine schwächere und daher ungenauere Vergrößerung benutzt werden muss. Das Verfahren wird daher kaum angewandt.