ALS-Ionenquellen

Anodenschicht-Ionenquellen für die → PVD-Beschichtung werden mit starken elektromagnetischen Feldern verbunden, um einen Austritt von Elektronen aus dem Ringspalt zwischen den Elektroden zu verhindern. Sie gestatten hohe Ionenstromdichten und sind für die Vorbehandlung nicht leitender Substrate besonders vorteilhaft.