Formteilätzen

Hochpräzise metallische Masken, die man zur Herstellung kleinster elektronischer Bauelemente und integrierter Schaltungen benötigt, werden heute vorwiegend durch chemische oder elektrochemische Ätzverfahren hergestellt. In gleicher Weise können auch metallische Mikrostrukturen äußerst wirtschaftlich und mit hoher Präzision gefertigt werden. Auch das chemische Abtragen, ein Verfahren zur Herstellung geometrisch komplizierter Bauteile, ist unter dem Begriff Formteilätzen anzusiedeln. Das Folienätzen (Bauteildicken ca. 100 bis 200 μm) unterscheidet sich vom Formteilätzen (Bauteildicken ca. 500 μm bis 1 mm) grundsätzlich nur dadurch, dass die hergestellten Bauteile wesentlich dünner sind. In allen Fällen ist das Ziel, freitragende Metallstrukturen herzustellen.

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