Verfahren zur Messung der → Rauheit von Oberflächen. Hierbei wird eine Tastspitze mit einer nur 2 bis 10 µm dünnen Spitze aus Saphir oder Diamant über die auszumessende Oberfläche geführt und ihre Veränderung auf einen Anzeiger übertragen, so dass eine Profilkurve aufgenommen werden kann.