Rauheit; die Gestaltabweichung von einer ideal-glatten Oberfläche wird Rauheit bzw. Welligkeit genannt. DIN 4760 unterscheidet Gestaltabweichungen 1. bis 6. Ordnung.
Die 1. Ordnung bezeichnet Formabweichungen im gesamten Verlauf der Oberfläche. Die 2. Ordnung gibt die Welligkeit z. B. bei gefrästen Flächen wieder. Die 3. Ordnung gibt gleichmäßige Bearbeitungsspuren, z. B. mit dem Drehmeißel wieder. Die 4. Ordnung steht für noch feinere Unebenheiten in den Drehrillen. Die 5. und 6. Ordnung sind den vorherigen noch überlagert.
In DIN 4763, Beiblatt 1, sind die mit verschiedenen Bearbeitungsverfahren erzielbaren Rautiefen wiedergegeben. Beim Messen der Rauheit bedient man sich folgender Messgrößen:
a) senkrecht zum Gesamtverlauf der Oberfläche: Rautiefe (Rt) Glättungstiefe (Rp), mittlere Rautiefe (Rz) und Mittenrauwert (Ra),
b) innerhalb des Verlaufs der Oberfläche: Rillenabstand (Ar) und Profiltraganteil (tp).
Die Messung der Rauheit von Oberflächen kann u. a. erfolgen:
a) mechanisch-elektronisch, indem eine feine Tastnadel die Oberfläche abtastet und ihre Bewegungen als stark überhöhtes Profil wiedergegeben werden (→ Perth-o-meter),
b) mechanisch-optisch, indem eine Saphirnadel um 0,33 bis 1,67 mm gehoben, weiter bewegt und die Stellung der Nadel abgelesen oder photographiert wird (Forster-Leitz-Verfahren),
c) optisch, indem ein schräges, schmales Lichtband auf die zu prüfende Oberfläche gelegt und mittels eines im Winkel dazu befindlichen Mikroskops ausgemessen wird (→ Lichtschnitt-Verfahren nach Schmaltz),
d) interferenzoptisch, indem zwei kohärente Lichtbündel erzeugt werden, von denen das auf einen Vergleichsspiegel treffende mit dem von der Prüffläche zurückgeworfenen (Messgrenze 0,03 mm) interferiert sowie
e) mikroskopisch durch Ausmessen eines Querschliffs.