Abscheiden örtlich begrenzter Schichten; praktisch alle Oberflächenverfahren sind hierzu geeignet. Entweder arbeiten die Verfahren ohnehin partiell (alle Strahl- und Aufdampfverfahren) oder die nicht zu beschichtende Oberfläche wird z. B. durch Masken, Blenden abgedeckt. Die dritte Möglichkeit ist, die Abscheidungsenergie nur auf den zu beschichtenden Fleck zu konzentrieren.