Alle Verfahren, die Licht zur Erkennung von Fehlern einsetzen.
Die einfachste optische Prüfung ist die sehr häufig angewandte visuelle Prüfung (mit normalsichtigem oder entsprechend korrigiertem Auge). Um Vergrößerungen zu erkennen, die mit dem normalsichtigen Auge nicht mehr zu sehen sind, werden Lupen, Stereomikroskope und Mikroskope eingesetzt. Für noch höhere Auflösungen (> 1000) werden Elektronenmikroskope eingesetzt. Daneben gibt es eine Reihe von speziellen Verfahren, z. B. mit polarisiertem Licht.