Bei der Oberflächendiffusion diffundieren die Atome entlang der Werkstückoberfläche und nicht an den → Korngrenzen oder in den → Kristalliten.
Die Oberflächendiffusion ist wesentlicher Bestandteil der Galvanischen und physikalischen Dampfmetallabscheidung, da die → ad-Atome durch sie zur Wachstumsstelle gelangen.