Oberflächenabbildung

Geschieht mit Verfahren zur Wiedergabe der Werkstückoberfläche mit unterschiedlicher Vergrößerung. Die höheren Auflösungen verwenden Elektronen, dabei können die Oberflächen anders aussehen als bei der optischen Abbildung. Sie können optisch abgebildet werden durch:

• Visuelle Prüfung (normalsichtiges oder entsprechend korrigiertes Auge)
• Laser-Abtastung
• Lupe
• Stereomikroskop
• Metallmikroskop
• REM (Rasterelektronenmikroskop; SE – Sekundärelektronen; BSE – Rückstreuelektronen)
• AFM (Raster-Kraft-Mikroskop)
• TEM – Transmissionselektronenmikroskop
• ESDA – elektrostatische Oberflächenabbildung;
• STM – Rastertunnelmikroskopie