Im Niederdruckbereich unter 1000 Pa werden → Plasmen zum Feinentfetten verwendet. Angeregte Teilchen des Plasmas, die auf die Metalloberfläche auftreffen, können dort chemisch reagieren und/oder ihre überschüssige Energie abgeben. Je nach Art des eingesetzten Gases können vorrangig dünne Fettschichten oder Kunststoffschichten abgetragen werden. Wegen des niedrigen Drucks werden die Teilchen zusätzlich beschleunigt.
