Oberflächenempfindliches Verfahren zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung dünner Schichten oder zum Nachweis von Kontaminationen auf Oberflächen. Die Oberflächenatome werden zur Emission von Photonen oder Elektronen mit der für das Element charakteristischen Energie angeregt und diese dann ausgewertet.
Wichtigstes Einsatzgebiet ist die Metallurgie und die Oberflächentechnik.
Hier werden die Problemstellungen im Zusammenhang mit → Segregation, → Bruchflächen, → Oxidation, → Korrosion oder → Katalyse bearbeitet.
Sonde
Elektronenstrahl (Elektronenenergie 1 – 10 keV)
kleinste erfassbare: 0,5 – 1 nm
Nachweis von Elementen
Z > 2 (Z = Ordnungszahl der Elemente)