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Die Schichtdickenverteilung bezeichnet die Schichtdickendifferenz zwischen zwei Messpunkten. Je kleiner die Differenz und je weiter die Punkte auseinander liegen, umso besser ist die Verteilung. I.d.R. wird eine möglichst gleichmäßige Verteilung der Schichtdicke gewünscht, um zum Beispiel den Hundeknocheneffekt zu verhindern oder zumindest zu minimieren. Einen Einfluss auf die Verteilung haben folgende Faktoren: