Chemisches Abtragen

Das chemische Abtragen, auch Tiefätzen genannt, ist ein Stromloses (chemisches) Ätzverfahren zur Herstellung komplizierter Bauteile. Im Gegensatz zur Galvanoformung werden in einem Tauchbad durch Einwirkung eines flüssigen Ätzmittels einzelne Bereiche eines Werkstückes gleichmäßig aufgelöst. Nicht zu bearbeitende Flächen werden durch Abdecken (Maskieren) geschützt. Das Verfahren wird vor allem eingesetzt, wenn große Flächen abgetragen werden müssen, die Wandstärke sehr dünnwandiger Bauteile in einzelnen Bereichen noch weiter verringert werden soll oder keine thermische Belastung des Bauteiles (z. B. bei mechanischer Bearbeitung) zulässig ist.

In der Luftfahrt werden insbesondere Bauteile aus Aluminium und Titanlegierungen, aber auch das Nickelwerkstoff durch chemisches Abtragen geometrie- und gewichtsmäßig optimiert. Beispiele hierfür sind Flugtribwerk- und Verdichtungsgehäuse aus Titan und Turbinengehäuse aus Nickenwerkstoff.

Eine sehr große Anwendung findet das Verfahren bei der Herstellung von Leadframes. Diese sehr dünnen Bänder aus einer Kupferlegierung (hierbei handelt es sich meist um Ausscheidungslegierungen) werden nach einer Maske geätzt. Hierbei erreicht man Abstände zwischen den Stegen von unter 1mm und kann Leadframes ätzen, welche man mechanisch nicht stanzen könnte. Um zu beurteilen, ob ein Leadframe geätzt oder gestanzt wurde, reicht ein Blick unter ein Mikroskop. Geätzte Leadframes weisen eine saubere Kante auf, bei gestanzten Leadframes kann man einen leichten Grat erkennen, welcher durch das Herausbrechen der Materials entsteht.