Reaktives-Aufdampfen

Statt Metalle im Hochvakuum zu verdampfen wird diesem ein Reaktivgas zugefügt, ähnlich der Kathodenzerstäubung. Das Verfahren wurde in den 50er Jahren von Auwärter entwickelt und wird heute in großem Umfang zur Oxid/Nitrid-, und Karbidbeschichtung eingesetzt. Um ein besseres Streuvermögen zu erhalten, werden auch Argon/Reaktivgasgemische verwendet. Heute verwendet man fast ausschließlich plasmaunterstützte Verfahren.