TOF-SIMS

Flugzeit-Sekundärionenmassenspektroskopie.

Untersuchungsmethode; dient zur Identifizierung und zum hochempfindlichen Nachweis von organischen und anorganischen dünnsten Belägen auf Oberflächen oder zur generellen Analyse von Kunststoffen.

In diesem Verfahren wird die Probe mit einem gepulsten Ionenstrahl angeregt, anschließend werden die emittierten Sekundärionen in einem Flugzeitmassenspektrometer analysiert.

Das Prinzip dieses Spektrometers basiert darauf, dass alle emittierten Sekundärionen in einem elektrischen Feld die gleiche Energie aufnehmen und somit eine nachfolgende Driftstrecke entsprechend ihrer Massen mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten durchlaufen.

Durch die Messung der Flugzeiten der Sekundärionen durch die Driftstrecke bis zu einem Detektor kann dann ihre Masse sehr genau berechnet werden. Die Stärke dieser Untersuchungsmethode liegt in der sehr hohen Nachweisempfindlichkeit und dem prinzipiell unbegrenzten Massenbereich. Er ermöglicht es auch, organische Moleküle mit Massenzahlen über 10 000 u zu analysieren.