Wärmebehandlung, bei der die chemische Zusammensetzung eines Werkstoffs durch Ein- oder Ausdiffundieren eines oder mehrerer Elemente absichtlich verändert wird, um bestimmte Eigenschaften zu erreichen. Zu solchen Verfahren gehören u. a. das → Aluminieren, → Aufkohlen, → Borieren, → Carbonitrieren, → Chromieren, → Entkohlen, → Nitrieren und → Silicieren.