REM; Physikalisches Analyseverfahren. Die Objektoberfläche wird von einem Elektronenstrahl abgetastet und optisch am Bildschirm dargestellt. Die im Vergleich zum Lichtmikroskop ca. 300mal größere Schärfentiefe ermöglicht die Abbildung von z. B. sehr „unebenen“ Oberflächen (Topografie) als praktisch dreidimensionales Relief.
Vergrößerungen bis zu 100 000fach sind problemlos erreichbar. Durch Kombination mit einer Elektronenmikrosonde (→ Elektronenstrahlmikroanalyse) sind auch lokale Elementanalysen möglich.