Chemische Bedampfung, → CVD bei der die Gase durch ein Plasma zusätzlich angeregt bzw. zerlegt werden. Verwendet werden Hochfrequenz- und Radiofrequenzplasmen im → Feinvakuum. Dies erlaubt ein Senken der BeschichtungsTemperatur. Mit diesem Verfahren können auch modifizierte Diamantschichten (→ DLC-Schichten) hergestellt werden.