Kristalline thermoplastische Polymere mit hohen Molmassen, bei denen Phenylringe über Ethylenbrücken verknüpft sind. Die Schichten lassen sich im CVD-Verfahren abscheiden, wodurch sich eine sehr gute Streuung realisieren lässt. Parylene besitzen z. T. hohe Schmelzpunkte und sind chemisch und elektrisch sehr stabil. Einsatz der Schichten in der Mikroelektronik, aber auch für Herzklappen und andere körperintern einzusetzende Medizinprodukte.