GDOS; GDOES; spektroskopisches Verfahren zur quantitativen Analyse von Metalloberflächen u. a. Feststoffoberflächen. Da die kathodisch geschalteten Proben in einem Gleichspannungs-Plasma abgesputtert werden, ist eine Tiefenprofilanalyse möglich. Durch das Bombardement mit Ar-Ionen werden Metallatome abgetragen und gelangen in das Plasma. Dort werden sie angeregt und senden Licht (Photonen) spezifischer Wellenlänge aus. Diese Strahlung wird spektrometrisch ausgewertet.