Oberflächenanalytik

Instrumentelle Verfahren zur Bestimmung der Zusammensetzung der Oberflächen des Grund- und Schichtwerkstoffes. Die Verfahren sind durch unterschiedliche Eindringtiefe gekennzeichnet und erfassen deshalb unterschiedliche Fehler.

Verfahren der Oberflächenanalytik sind u. a.:

• SIMS (Sekundärionenmassenspektroskopie)
• TOF-SIMS (Flugzeit-SekundärionenMassenspektroskopie)
• RFA (Röntgenfluoreszenzanalyse)
• Mikro-RFA – RFA im → REM
• ESMA/EDX/EDAX (Energiedispersive Röntgenmikroanalyse)
• Elektronenstrahl-Mikrosonde
• Optisches Emissionsspektrometer
• Extravisuelle Untersuchungen im UV- und IR-Licht, um Adsorptions- und Lumineszenzphänomene sichtbar zu machen, die mit bloßem Auge nicht sichtbar sind.