3D-Messtechnik zur Bestimmung von Höhenunterschieden.
Mit dem Verfahren werden die Strahlen einer monochromatischen Lichtquelle unter einem Winkel von 45° auf die Metalloberfläche gerichtet. Dabei wird ein Anteil der Strahlen sofort, ein anderer erst nach Durchdringung der transparenten Schicht reflektiert. Man erhält daher im Okular zwei Lichtbänder, die ausgemessen und unter Berücksichtigung des Brechungsindexes der zu messenden Schicht (für Aluminiumoxidschichten 1,59, für nachverdichtete Schichten 1,62) zur Schichtdickenbestimmung benutzt werden können.