Ultrareines Wasser, das vorgereinigt und in Apparaturen aus Quarzglas destilliert wurde. Für die Apparaturen wird Quarzglas, also reines SiO2-Glas verwendet, weil sich aus Geräteglas bereits Alkaliionen herauslösen und die Leitfähigkeit erhöhen können.
Die Reinheit des Wassers bezüglich elektrolytbildender Stoffe lässt sich am einfachsten durch eine Leitfähigkeitsmessung überwachen (Summenparameter; DIN EN 27888 (C8)). Der praktische Messwert von „Leitfähigkeitswasser“ liegt bei ca. 1 µS/cm.