Vorrichtungen zur Messung von Widerständen von der Oberfläche her, z. B. für die Schichtdickenmessung der Kupferschichten an Leiterplatten. Das Verfahren hat in diesem Fall den Vorteil, dass kein Durchgriff auf die nächste Lage einer Mehrlagenschaltung (eines → Multilayers) stattfindet. Für die Messung werden drei bzw. vier Spitzen auf die Oberfläche aufgesetzt. Die äußeren beiden Spitzen erzeugen ein elektrisches Feld. Über die inneren Spitzen wird der Widerstand über die Spannung sehr hochohmig gemessen.