Die verdampfbaren Carbonyle der schwer schmelzenden Metalle V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Mo, Tc, Ru, W, Re und Os dienen als Ausgangsschichten für die → CVD-Beschichtung. Aufgrund ihrer Toxizität werden sie nur selten eingesetzt. Die bekanntesten sind Eisenpentacarbonyl Fe(CO)5 und Nickeltetracarbonyl Ni(CO)4 zur Reinsteisen- bzw Reinstnickelherstellung.