Back-end-of-the-Line- Prozesstechnologie

Prozesskette der Bauelementeherstellung; (BeoL) umfasst die Prozesse von der Kontaktebene bis zur vollständigen Prozessierung der Wafer vor dem elektrischen Test. Sie schließt das gesamte Leitbahn- und Kontaktsystem (Interconnectsystem) einschließlich der Passivierung ein.