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Ionenclusterstrahlabscheidung; Verfahren der Ionenstrahlbeschichtung, bei dem der Strahl aus Clustern, d. h. Verbänden aus einer Vielzahl von Atomen besteht. Beim Aufprall zerfallen die Cluster. Es kommt zu einer Impulsaufteilung, so dass gleichzeitig Bedingungen für Reinigung, Aktivierung und Haftung vorliegen.

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